[{"title":"產品詳情","content":"
納米級光學干涉測厚儀
應用: PET、PE、PMMA等薄膜·離型膜·沉積膜·金屬表面漆膜涂層·膜涂層·塑料涂層
產品簡介:
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀利用光譜相干測量學,用于測量半導體制造過程中的薄膜厚度,以及安裝在半導體制造設備上的APC和薄膜的質量控制,能夠測量單層/多層/涂布層在不透光基板上的厚度,精準度可達納米級。
PSD-2000型在線納米級光學膜厚儀,其核心部件主要源自于美國Ocean Optics有限公司,其微型光譜儀體積小巧,可對全譜進行快速采集,產品應用廣泛,可用于生化、光電、航空航天、環境保護、安全檢測、農業等行業,可進行 Low-E玻璃鍍膜檢測,ITO玻璃鍍膜檢測,PET涂布在線膜厚檢測,金屬表面涂層檢測,半導體,LCD膜厚檢測等。
工作原理: 分光干涉法
當光入射到樣品內部,會發生多重反射現象,多重反射光會由于相互之間的相位差增強或減弱,而相位差取決于樣品的折射率和光程,因此來自于樣本的反射光譜與其厚度有直接關系。光譜干涉法就是利用這種獨特的光譜分析出樣品的厚度,該厚度測量儀器根據測試范圍的不同主要使用曲線擬合和FFT兩種方法對光譜進行分析。
應用范圍:
?PET薄膜厚度測量
?涂層厚度測量,如HC,保護膜,光刻膠,OCA,離型膜等涂布厚度或克重的測量
?用于包裝的PET表面介質膜克重或膜厚測量
?金屬表面透明和半透明漆膜涂層
產品優勢:
在線掃描式或多點測量(多達15點)同時測量
通過光強波動校正功能實現長時間穩定測量
提醒及警報功能(通過或失敗)
反射(透射)和光譜測量
同步測量多層厚度
高速、高準確度
參數:
型號 | PSD-2000W | PSD-2000P | PSD-2000R |
可測膜厚范圍 | 15 nm - 100 um | 2nm - 200 um | 200nm-3000um |
測量可重復性 | 0.02 μm |
測量準確 | ±1% |
光源 | 鎢鹵素燈 |
測量波長 | 380 - 1050 nm | 250 - 1050 nm | 900 - 1200 nm |
光斑尺寸 | 約φ1 mm |
工作距離 | 10 mm |
可測層數 | 最多10層 |
分析 | FFT 分析,擬合分析 |
測量時間 | 19 ms/點 |
外部控制功能 | Ethernet |
接口 | USB 2.0(主單元與電腦接口);RS-232C(光源與電腦接口) |
電源 | AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz |
功耗 | 約330W(2通道)~450W(15通道) |
PSD-200實驗室型納米級光學干涉測厚儀
用途:
·太陽能減反膜玻璃,TCO玻璃,Low-E玻璃,ITO玻璃,光學玻璃鍍膜等測量。
·PET膜透明膠膜厚測量
·膜厚,顏色,粗糙度,透過率,反射率,霧度
·可用于實驗室離線測量
技術水平:
·精度0.1%,達到國際同類產品水平
·檢測透明和半透明涂層
·反射式太陽能玻璃的膜厚/折射率測量儀,具有測量速度快,測量準確,操作簡便的特點。
技術參數:
產品類型 | 可見光 | 紫外+可見光 |
厚度測量 | 15nm-100μm | 1nm-100μm |
折射率 | 厚度要求100nm以上 | 厚度要求50nm以上 |
準確性 | 2nm或0.5% |
精度 | 0.1nm |
測量時間 | 小于1秒 |
光斑大小 | 大約1mm |
軟件:
·實時顯示反射率,透光率,膜厚(多層膜),顏色值和折射率;同時具有仿真功能
·支持多角度各種入射條件下的仿真和擬合
·在線/離線監控和歷史數據界面
·輸出至SQL服務器;小型內置式SQL
·可根據客戶要求定制界面
"}]